1. 向高精度、率的方向發展

隨著科學技術的不斷進步，對精度、效率和質量的要求也越來越高。超精密加工技術就是要沖刺到加工精度的極限。應該說這個極限是無限的。目前的目標是向納米水平進軍，目前的情況是在亞輝米水平。

圖中展示了超精密加工的理論基礎和應用技術的發展，提出了量子技術和量子能量的利用，并將其與空間技術聯系起來。

2. 向大型化、小型化方向發展

由于航空航天等技術的發展，大型光電器件需要大型的超精密加工設備，如美國研制的直徑為2.4 ~ 4m的大型光學器件超精密加工機床。

隨著微機械和集成電路的發展，超精密加工技術正朝著微型化方向發展，如微傳感器和微驅動

圖中顯示的是采用微加工技術制造的微型機器和零件。圖a為一對直徑為1mm的滑輪，圖B為轉子直徑約為192pm的電機，圖C為梳狀執行器，圖D為直徑為124pm的齒輪。

3.去毛刺機向加工與檢測一體化方向發展

由于超精密加工的高精度，必須開發相應的檢測技術來滿足其要求;同時，由于安裝等錯誤，獨立處理和測試的方法可能無法實現。因此，應采用原位檢測方法，實現加工與檢測的一體化。

4. 去毛刺機在線檢測和誤差補償

超精密加工具有精度高、影響因素多而復雜的特點。為了保證加工質量和穩定性，對其進行在線檢測和工況監測是十分必要的。由于超精密加工的精度很高，加工設備本身的精度有時難以滿足要求，因此應采用在線檢測和誤差補償的方法來提高精度，保證加工質量的要求。

5. 去毛刺機新型超精密加工方法機理研究

機械加工機理的研究是新技術的生長點。超精密加工機構涉及到材料的微觀世界和內部結構。所使用的能量包括機械、光、電、聲、熱、化學、磁、原子等。既可進行分離去除處理，也可進行分層堆積處理;可采用分離加工方法和復合加工方法。加工機理的研究往往很突兀。

6. 新材料研究

新材料包括新工具材料(切削、磨削)和加工材料。精密加工和超精密加工的加工材料對其加工質量有很大的影響，對其化學、機械和機械性能有嚴格的要求，需要研究。

目前，我國對精密加工和超精密加工的迫切需求具有現實意義。將一些成熟或相對成熟的精密加工和超精密加工技術延伸到實際的云中，從而提高加工技術水平，使機械產品質量更好，生產率更高。